Для смазки вакуумных насосов, создающих низкое и среднее разрежение, используют масла, применяемые для компрессоров. Эти масла используют и для смазки трущихся деталей, и для вакуумной секции. Требования в отношении стабильности к старению удовлетворяют масла групп С и СL или группы L-TD. Там, где должен быть обеспечен высокий вакуум, требуется масло с низким давлением насыщенных паров, т. е. для смазки и герметизации вакуумной камеры нужно масло большей вязкости, чем для смазки трущихся деталей . Самый высокий вакуум достигается при использовании узких масляных фракций, так как при этом можно избежать повышения давления паров, неизбежного при добавлении низкокипящих фракций с целью регулирования вязкости. Такие масла имеют относительно высокие температуры вспышки (по сравнению с вязкостью). В тех случаях, когда нет подходящих узких фракций, следует использовать масла следующего, более высокого класса вязкости. Присутствие низкокипящих фракций не только отрицательно влияет на величину вакуума, но и способствует образованию масляного тумана и его конденсации на деталях установки.
Для смазки насосов, предназначенных для высокого и сверхвысокого вакуума, применяют специальные масла с низким давлением насыщенных паров: очень узкие фракции парафиновых или нафтеновых масел, полученные молекулярной разгонкой, некоторые специальные товарные масла, например Апиезон или Диффелен. В зависимости от вязкости и пределов выкипания их применяют для смазки поршневых, ротационных, пароструйных и диффузионных вакуумных насосов . Для этих насосов требуются масла с высокой окислительной и термической стабильностью, так как в некоторых насосах, например в диффузионных, температура достигает 260 ± 20 °С. Применение таких масел позволяет исключить использование ртути в манометрах и тем самым избежать проникания ртутных паров в вакуумную установку (при использовании в манометрах масла вместо ртути обеспечивается более высокая точность измерения в силу меньшей плотности масла).
Синтетические жидкости, такие, как сложные эфиры фталевой или себациновой кислот (например ди-н-бутил- или ди-н-октил- фталат) также применяют для смазывания вакуумных насосов. Преимущества синтетических масел состоят в низком давлении паров в сочетании с малой вязкостью и высокими антифрикционными свойствами. Применявшиеся ранее хлорированные дифенилы были изъяты по соображениям промышленной гигиены.